国度常识产权局信息披露，LPE公司苦求一项名为“来自反馈室部分的碳化硅膜的光子援手化学蚀刻”的专利，公开号CN121693021A，游戏平台苦求日历为2025年9月。

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专利节录披露，牛牛本发明波及一种用于从适于在衬底上千里积碳化硅层的反馈室的一个或多个部分蚀刻碳化硅膜的设施。该设施包括以下期间：(i)在用于千里积碳化硅的反馈器的反馈室的一个或多个部分上提供碳化硅膜；(ii)扩充蚀刻经过的至少一个轮回。蚀刻经过包括至少一个UV光子援手化学蚀刻轮回。本发明还波及适于扩充所述设施的反馈器。

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